1.什么是區熔爐
最初的區熔提純法是把被提純物放到髙純石墨或石英舟內進行提純的。
硅熔點高達 1420°C,在該熔點下,硅的化學性質非常活 潑,找不到與它不發生反應的材料,所以特 別容易被污染。為了克服區熔提純法的該項 不足,后來發明了一種懸浮區熔法。
懸浮區 熔法是靠熔融硅的表面張力托住熔區,不必 使用坩堝,這樣除了靠分凝提純外,在真空 的條件下還有利于除去氣體雜質。由于這種 方法在提純時,其熔區不與其他任何物質接 觸,是懸浮在被提純物上的,所以稱為懸浮 區熔,簡稱為區熔。
懸浮區熔法不僅可以提 純硅,而且還可以制取單晶硅,也就是使多 晶硅變成單晶硅。 懸浮區熔法生產單晶硅所用的主要設備 是高真空懸浮區熔單晶爐,簡稱為區熔爐。
區熔爐同單晶爐一樣,也是一個極 其復雜的機構,也可以把它簡單地分為兩個部分:一個部分是機械部分;另一個部分是電氣 部分。 (1) 機械部分。
機械部分主要由爐室、熱系統、籽晶旋轉提升機構、真空系統、充氣系統、水冷系統組成。 (2) 電氣部分。
電氣部分主要由2~3MHZ的高頻線圈加熱電源、高頻線圈加熱、電加熱的溫度控制系統、速度控制系統、水溫巡檢及狀態報瞥系統等組成。
2.爐字的組詞
“爐?”的詞語:
爐煙 爐鼎 爐氳 爐火 爐灶 爐子 爐錘 爐鞴 爐冶 爐峰 爐香 爐膛 爐篆
爐熏 爐捶 爐頭 爐灰 爐拂 爐炭 爐具 爐臺 爐煅 爐渣 爐韛 爐溫 爐坑
爐齡 爐丁 爐炷 爐橐 爐亭 爐嶠 爐底 爐情 爐穗 爐燼 爐椎 爐櫜 爐鑄
爐槌 爐眼 爐餅 爐氣
“?爐”的詞語:
洪爐 出爐 香爐 火爐 洋爐 鼎爐 被爐 熔爐 烘爐 紅爐 當爐 金爐 鍋爐
風爐 地爐 酒爐 壁爐 玉爐 炭爐 熏爐 竹爐 烤爐 薰爐 丹爐 袖爐 回爐
手爐 行爐 電爐 提爐 鴻爐 御爐 葑爐 燎爐 高爐 司爐 鍛爐 邊爐 湛爐
擁爐 轉爐 熨爐 猊爐 平爐 寒爐 暖爐 獸爐 缸爐 鵲爐 宣爐 炎爐 筠爐
銀爐 籠爐 螭爐 撥爐 鴨爐 焦爐 黃爐 餅爐 瑞爐 陽爐 篝爐 燒爐 賣爐
膏爐 大爐 瓦爐 蛟爐 小爐 油爐 摶爐 滊爐 跪爐 腳爐 鑉爐 氈爐 寶爐
松爐 汽爐 錘爐 走爐 虬爐 灰爐 鐵爐 躍爐 鼓爐 煤爐
“爐???”的詞語:
爐火純青 爐瓶三事 爐食餑餑 爐鼎之客
“?爐??”的詞語:
紅爐點雪 洪爐點雪 洪爐燎發 夏爐冬扇 踞爐炭上 小爐兒匠 回爐復帳
“??爐?”的詞語:
另起爐灶 阿迦爐香 燒頭爐香 重起爐灶
“???爐”的詞語:
熔于一爐 被中香爐 官法如爐 冬扇夏爐 臥褥香爐